半导体
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AMC在线监测系统

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AMC在线监测系统

随着半导体制程不断逼近摩尔极限，气态分子污染物（AMC，包括酸、碱、有机物等）的痕量级管控已成为影响芯片良率与产能的关键因素。英国365集团官网依托高精度质谱、色谱领域多年的技术积淀，推出专业化的AMC监测解决方案，以高准确与稳定性、全自动化的仪器体系，以AI赋能，为半导体洁净室环境、机台环境提供专业化监测服务。
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产品优势

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兼顾无尘室大环境和制程微环境

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酸、碱、有机物等管控因子全覆盖

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符合SEMI S2认证

产品详情

01
通过整合离子色谱与气相色谱质谱联用仪，可同时在线监测阴阳离子（F⁻、Cl⁻、Br⁻、NO₃⁻、NO₂⁻、SO₄²⁻、PO₄³⁻、NH₄⁺等）和116种VOCs（包括苯系物、卤代烃、醛酮、掺杂剂、溶剂、副产物等），实现PPT级酸、碱、有机物全面监控。
02
通过整合CRDS、化学发光、紫外荧光、PID等原理之分析仪，可同时在线监测HCl、HF、SO₂、NOₓ、O₃、NH₃、TVOC等气态分子污染物，实现PPB级酸碱有机物的全面监控。

 

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