方案概述
前言：
蚀刻液中铟、锡的浓度变化会直接影响蚀刻速率和图案精度。通过测定含量，可精准控制蚀刻条件，避免因浓度波动导致蚀刻不彻底或过度，从而保证产品良率。并且铟和锡均为稀有金属，尤其铟价格昂贵。检测可判断蚀刻液是否“寿命终止”，既能避免提前更换造成浪费，又能监控废液中金属浓度，便于高效回收和再利用，显著降低生产成本。
同时随着蚀刻进行，溶解的铟、锡会不断积累。定期测定可掌握浴液老化程度，决定是添加新液还是更换整槽液，从而维持生产线的连续稳定。
含铟、锡的废液属于有害物质。准确测定其含量是废水处理、申报及满足环保排放标准的必要环节，有助于企业合规处置，避免环境风险。
关键词：原子吸收；石墨炉法；蚀刻液；铟；锡。
1.实验方法
1.1 仪器配置
表1 原子吸收分光光度计配置清单
|
序号 |
名称 |
数量 |
|
1 |
AA2310原子吸收分光光度计 |
1 |
|
2 |
GF2310石墨炉电源 |
1 |
|
3 |
AS2310自动进样器 |
1 |
|
4 |
冷却水循环机 |
1 |
|
5 |
高纯氩气 |
1 |
|
6 |
铟空心阴极灯 |
1 |
|
7 |
锡空心阴极灯 |
1 |
1.2 试剂及实验材料
1.2.1 铟标准溶液：1000mg/L；
1.2.2 锡标准溶液：1000mg/L；
1.2.3 盐酸：优级纯；
1.2.4 硝酸：优级纯；
1.2.5 高氯酸：优级纯；
1.2.6 聚四氟乙烯坩埚；
1.2.7 数显电热板。
2.结果与讨论
2.1 元素的光谱条件
|
参数 |
In(铟) |
Sn(锡) |
|
电流 (mA) |
3 |
4 |
|
光谱带宽 (nm) |
0.2 |
0.4 |
|
特征波长(nm) |
303.9 |
286.3 |
|
背景校正 |
AA-BG |
AA-BG |
2.1.1 标曲测试
|
标准曲线系列梯度浓度表(μg/L) |
||||||
|
组分名称 |
标曲1 |
标曲2 |
标曲3 |
标曲4 |
标曲5 |
标曲6 |
|
铟元素 |
5 |
10 |
20 |
30 |
40 |
50 |
|
锡元素 |
5 |
10 |
20 |
30 |
40 |
50 |
铟元素标准曲线
锡元素标准曲线
2.1.2 某样品测试结果
|
样品名称 |
检测元素 |
样品量（mL） |
定容体积（mL） |
稀释倍数 |
测试浓度（μg/L） |
样品含量（μg/L） |
|
样品 |
铟元素 |
1.0 |
10 |
1 |
n.d. |
未检出 |
|
锡元素 |
1.0 |
10 |
2 |
10.5208 |
210 |
3.注意事项
3.1 样品在前处理时，加入的盐酸、硝酸和高氯酸均为强酸溶液，做好防护。此过程全程在通风橱里操作。
4.结论
由实验结果可得，铟和锡元素的线性相关系数均大于等于0.999。该方法准确可靠、灵敏度高，可用于样品中铟和锡元素的检测。
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